Vakuuma pārklājums pagarina izejmateriālu kalpošanas laiku pusvadītāju rūpniecībā un samazina kameras dīkstāves laiku.Pārklājuma materiāli ir no kausēta silīcija dioksīda līdz itrija stabilizētam cirkonija oksīdam, un pārklājumi ir optiski dzidri un ķīmiski inerti.Tas viss nozīmē zemākas īpašuma izmaksas, sinhronizējot apkopes ciklus.
Izlikšanas laiks: 16. jūnijs 2022